-> Click here !!! <-

良くある質問とその回答

利用課題に関するFAQ

  • Q.利用対象は民間企業のみですか?
  • A.いいえ。但し、トライアルユースは民間企業のみが対象です。
  • Q.利用成果は誰のものになるのですか?
  • A.原則として利用者に帰属します。
  • Q.成果公開の具体的な方法は?
  • A.利用終了後に提出していただく「利用成果報告書」を、本サイトと文部科学省の共用ナビに掲載します。

同位体顕微鏡に関するFAQ

  • Q.同位体顕微鏡はSIMSとどう違うのですか?
  • A.同位体顕微鏡はDynamic-SIMSの一種です。深さ方向分析や点分析といった一般のSIMS測定も可能です。
        それに加え,迅速に同位体や微量元素の3次元の定量分析を行うことができます。その分解能は横方向300 nm,深さ方向数10 nmです。
  • Q.同位元素しか分析できないのですか?
  • A.同位元素の他,すべての元素の分析が可能です。
  • Q.同位体顕微鏡の感度はどれくらいですか。
  • A.横方向分解能um以下においてppbレベルの分析が可能です。一般的なDynamic-SIMSに比べ,10~100倍高感度です。
  • Q.測定時間はどれくらいですか?
  • A.測定する元素の濃度によります。100 um四方の領域について、約20秒から1時間程度(微量元素の場合)です。
  • Q.測定試料の表面処理はどうすればよいですか?
  • A.普通の分析では,光学顕微鏡で観察して凸凹があまりなければ大丈夫です。
  • Q.測定中の試料温度は制御できますか?
  • A.試料制御用のサンプルステージを準備していないため、室温での分析になります。
  • Q.測定中の試料室の真空度を教えてください。
  • A.10E-9 ~ 10E-8 Torrの超高真空です。脱ガスをする試料は,対策が必要な場合もあります。
  • Q.測定できる試料の大きさを教えてください。
  • A.25 mm x 25 mm x 5 mm以下の試料を分析できます。
  • Q.一度に測定できるイメージの大きさを教えてください。
  • A.約100 um四方の領域です。