良くある質問とその回答

利用課題に関するFAQ

• Q．利用成果は誰のものになるのですか？
  
• A．原則として利用者に帰属します。
• Q．成果公開の具体的な方法は？
  
• A．利用終了後に提出していただく「利用成果報告書」を事業のウェブサイトに掲載します。

同位体顕微鏡に関するFAQ

• Q．同位体顕微鏡はSIMSとどう違うのですか？
  
• A．同位体顕微鏡はDynamic-SIMSの一種です。深さ方向分析や点分析といった一般のSIMS測定も可能です。
      それに加え，迅速に同位体や微量元素の3次元の定量分析を行うことができます。その分解能は横方向300 nm，深さ方向数10 nmです。
• Q．同位元素しか分析できないのですか？
  
• A．同位元素の他，すべての元素の分析が可能です。
• Q．同位体顕微鏡の感度はどれくらいですか。
  
• A．横方向分解能um以下においてppbレベルの分析が可能です。一般的なDynamic-SIMSに比べ，10～100倍高感度です。
• Q．測定時間はどれくらいですか？
  
• A．測定する元素の濃度によります。100 um四方の領域について、約20秒から1時間程度（微量元素の場合）です。
• Q．測定試料の表面処理はどうすればよいですか？
  
• A．普通の分析では，光学顕微鏡で観察して凸凹があまりなければ大丈夫です。
• Q．測定中の試料温度は制御できますか？
  
• A．試料制御用のサンプルステージを準備していないため、室温での分析になります。
• Q．測定中の試料室の真空度を教えてください。
  
• A．10E-9 ～ 10E-8 Torrの超高真空です。脱ガスをする試料は，対策が必要な場合もあります。
• Q．測定できる試料の大きさを教えてください。
  
• A．25 mm x 25 mm x 5 mm以下の試料を分析できます。
• Q．一度に測定できるイメージの大きさを教えてください。
  
• A．約100 um四方の領域です。